法會的進行過程依儀軌的內容來分，可以分為：起首念誦儀，正誦蒙山施食，結願念佛回向。
接著主法和尚和法師齋主們便念佛到孤魂壇前薦食。大眾念南無阿彌陀佛佛號至靈位前唱：「西方極樂世界大慈大悲阿彌陀佛」，接著三唱，「南無蓮池會菩薩摩訶薩」。後三稱「南無蓮池海會佛菩薩」。再接著唱誦《佛說阿彌陀經》和往生咒，《般若波羅蜜多心經》和變食真言（七遍），甘露水真言（七遍）普供養真言（三遍）和〈彌陀讚〉。最後唱回向偈。
薦食完畢，便念佛回壇。接著唱誦〈蓮池海會讚〉，此時主法和尚行十方禮後隨即升座。大眾同誦《佛說阿彌陀經》和往生咒，〈彌陀大讚〉。接著在休息二十分鐘後，即進行正誦蒙山施食。
在休息二十分鐘，法鼓三通後，壇位諸師和主法和尚隨即升座，進行正誦蒙山施食的儀軌。而正誦蒙山施食的過程又可以分為：（1）破獄（2）召請（3）迎請三寶傳授三皈（4）懺罪發願（5）除障受戒（6）變化法食及施食（7）接引佛國超昇淨土。